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美国国防部高级研究计划局(DARPA)启动“水晶宫”(Crystal Palace)计划,旨在实现下一代微系统使用的复杂单晶材料的大规模快速生长。现有微系统用单晶材料生长技术只能在宏观上控制工艺参数,而驱动材料生长的关键过程却发生在纳米尺度。“水晶宫”计划将开发在纳米尺度调控晶体生长过程的新工具和新技术,直接在微系统器件用衬底上实现复杂单晶的规模化、高精度、可控均匀生长。该计划为期36个月,分两阶段进行:第一阶段在5厘米衬底上实现至少1种复杂单晶的可控生长;第二阶段扩展至4种材料,每种材料复杂性递增,验证生长工艺的广泛适用性。该计划直接融入技术转化机制,通过“材料博览会”和“技术转化路演”,推动先进材料生长工艺从实验室进入实际应用阶段。
2026-01-09 10:32:26
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